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특허현황 (최근 3년)
순번 특허번호 등록일 출원특허명
1 제10-1119032 2012.02.15   크라이오펌프의 헬륨 압축기 유닛
2 제10-1289394 2013.07.18   진동저감 댐핑플랜지 조립체를 갖는 크라이오 펌프
3 제10-1384575 2014.04.07   소음 및 진동저감 극저온 냉동기 갖는 크라이오 펌프
US 특허현황
순번 특허번호 출원특허명
1 4791791   Cryosorption surface for a Cryopump
2 5231839   Method and Apparatus for Cryogenic Vacuum Pumping with Reduced Contamination
3 5305612   Cryopump method & Apparatus
4 5357760   Hybrid Cryogenic Vacuum Pump Apparatus
5 5386708   Cryogenic Vacuum Pump with Expander Speed Control
6 5513499   Method and Apparatus for Cryopump Regeneration using Turbomolecular Pump